有效測量行程(X軸×Y軸)：300mm×200mm  

Z軸調(diào)焦升降范圍：≤200mm  

分辨率：0.001mm  

X、Y軸線性精度：U≤(3+L/200)μm  

載物臺尺寸：445mm×345mm  

玻璃臺尺寸：330mm×230mm  

承載重量：≤25kg  

影像系統(tǒng)：美國TEO高分辨率1/3"彩色CCD  

物鏡：可連續(xù)變倍光學(xué)放大倍率0.7×-4.5×  

影像放大倍率：20-225×，  

光柵尺：高精度精密光柵尺,分辨率1um  

照明系統(tǒng)：表面光源及透射光源均為LED，亮度可調(diào)  

傳動方式：精密無牙傳動＋P級交叉導(dǎo)軌  

操作方式：搖桿手柄、鼠標拖運、  

主機外形尺寸：700mm×470mm×950mm  

機臺底座、工作臺、Z軸立柱：高精度花崗巖  

儀器總重：約150kg  

量測軟件：光學(xué)視覺精密測量測軟件  

數(shù)據(jù)輸出：測量數(shù)據(jù)Word(doc)、Excel(xls)  

物件放大攝像圖形(bmp、jpg)、二維圖形AutoCAD(dxf)  

簡單SPC分析，數(shù)據(jù)Word(doc格式)、Excel(xls格式)  

數(shù)據(jù)導(dǎo)入：二維圖形AutoCAD(dxf))  

電源：AC220±5V、50Hz  

使用環(huán)境：溫度20±3℃，濕度35%-65%