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簡(jiǎn)要描述:技術(shù)參數(shù)JW-2010/3020/4030/6050有效測(cè)量行程(X軸×Y軸) :300 mm×200 mmZ軸調(diào)焦升降范圍:≤200mm分辨率:0.001mmX、Y軸線性精度:U≤( 3+L/200 )μm 載物臺(tái)尺寸:445mm×345mm玻璃臺(tái)尺寸:330 mm×230 mm承載重量:≤25 kg
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技術(shù)參數(shù) | JW-2010/3020/4030/6050 |
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